半导体超纯水指标范围是多少
2024-04-27 14:10:13
半导体超纯水的水质指标范围如下：
电阻率：大于18、2兆欧（25摄氏度）。
TOC（总有机碳）：小于1到10ppb。
DO（溶解氧）：小于1到10ppb。
Particle（颗粒）：0.05微米小于200个/升。
离子含量：大部分是小于20到50ppt。
细菌检测：无。
这些指标可能会根据半导体芯片的大小和线径的不同而有所变化。纯水和超纯水的水质标准可能因应用领域和用户需求而有所不同，所以在实际应用中，需要参考相关标准和规定来确定具体的水质指标范围。
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